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Coauteurs
- Patrick NaulleauEUV Tech Inc. and Berkeley LabAdresse e-mail validée de euvtech.com
- Jeffrey Bokor Professor of electrical engineering and computer sciences, University of California, BerkeleyAdresse e-mail validée de eecs.berkeley.edu
- Iacopo MochiPaul Scherrer InstitutAdresse e-mail validée de psi.ch
- Eric GulliksonLawrence Berkeley National LaboratoryAdresse e-mail validée de lbl.gov
- Antoine Islegen-WojdylaLawrence Berkeley National LaboratoryAdresse e-mail validée de lbl.gov
- Sungmin HuhSamsung electronicsAdresse e-mail validée de samsung.com
- Wayne R. McKinneyLawrence Berkeley National LaboratoryAdresse e-mail validée de lbl.gov
- Richard CelestreAssociate Beamline Scientist, Advanced Light SourceAdresse e-mail validée de lbl.gov
- H A PadmoreLawrence Berkekely National LabAdresse e-mail validée de lbl.gov
- James Alexander LiddleScientific Director, Microsystems and Nanotechnology Division, NISTAdresse e-mail validée de nist.gov
- mourad idirBNL / NSLS IIAdresse e-mail validée de bnl.gov
- Yow-Gwo WangIntelAdresse e-mail validée de intel.com
- Ted LiangIntel CorporationAdresse e-mail validée de intel.com
- Samuel BucourtImagine OpticAdresse e-mail validée de imagine-optic.com
- Xavier LevecqImagine OpticAdresse e-mail validée de imagine-optic.com
- Philippe ZeitounCNRSAdresse e-mail validée de ensta.fr
- Laura WallerUC BerkeleyAdresse e-mail validée de alum.mit.edu
- Lahsen AssoufidSenior Physicist and Optics Group Leader, Argonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Rashi GargGlobal FoundriesAdresse e-mail validée de globalfoundries.com
- Bruce W. SmithProfessor, Microsystems Engineering, Rochester Institute of TechnologyAdresse e-mail validée de rit.edu
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Kenneth A. Goldberg
Optical Physicist, Advanced Light Source, Lawrence Berkeley National Laboratory
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