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Coauteurs
- Gouri Sankar KarVP R&D, IMEC BelgiumAdresse e-mail validée de imec.be
- Johan Swerts Imec Adresse e-mail validée de imec.be
- Sven Van ElshochtAdresse e-mail validée de telenet.be
- Siddharth RaoResearcher, IMEC, BelgiumAdresse e-mail validée de imec.be
- Souriau LaurentDry etch research engineer at imecAdresse e-mail validée de imec.be
- jo de boeckImecAdresse e-mail validée de imec.be
- Thibaut DevolderCentre de Nanosciences et de Nanotechnologies (Orsay, France)Adresse e-mail validée de u-psud.fr
- Simon Van BeekimecAdresse e-mail validée de imec.be
- Kevin GarelloUniv. Grenoble Alpes, CEA, CNRS, Grenoble INP, SPINTEC / R&D Senior ScientistAdresse e-mail validée de cea.fr
- Yoann TomczakAdresse e-mail validée de asm.com
- Hyunsoo YangElectrical and Computer Engineering, National University of SingaporeAdresse e-mail validée de nus.edu.sg
- Kaiming CaiHuazhong University of Science and Technology, ProfessorAdresse e-mail validée de imec.be
- Kiroubanand SankaranimecAdresse e-mail validée de imec.be
- Yueh Chang (Jackson) WuTSMC, TaiwanAdresse e-mail validée de tsmc.com
- Shawn David PollardUniversity of MemphisAdresse e-mail validée de memphis.edu
- Yumeng YangShanghaiTech UniversityAdresse e-mail validée de shanghaitech.edu.cn
- Kyusup LeePukyong National UniversityAdresse e-mail validée de pknu.ac.kr
- Yi WangDalian University of TechnologyAdresse e-mail validée de dlut.edu.cn
- Rahul MishraAssistant Professor, Indian Institute of Technology DelhiAdresse e-mail validée de care.iitd.ac.in
- Shuyuan ShiBeihang University, National University of SingaporeAdresse e-mail validée de buaa.edu.cn