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Coauteurs
- Sean BarryCarleton UniversityAdresse e-mail validée de carleton.ca
- Jeffrey ElamSenior Chemist, Argonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Jacques AlbertProfessor of Electrical Engineering, Carleton UniversityAdresse e-mail validée de carleton.ca
- Wenjun Zhou(周文俊)China Jiliang UniversityAdresse e-mail validée de cjlu.edu.cn
- Matthew B. E. GriffithsLam Research CorporationAdresse e-mail validée de lamresearch.com
- Alex MartinsonPrincipal Investigator, Argonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Seth B DarlingArgonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Ruben WaldmanProcess EngineerAdresse e-mail validée de emdgroup.com
- Steven Letourneau, PhDEngineer at Lam ResearchAdresse e-mail validée de lamresearch.com
- Angel Yanguas-GilArgonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Anil ManeArgonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Nari JeonChungnam National UniversityAdresse e-mail validée de cnu.ac.kr
- Peter George GordonDepartment of Chemistry, Carleton UniversityAdresse e-mail validée de carleton.ca
- Matthias J YoungChemical Engineering and Chemistry, University of MissouriAdresse e-mail validée de missouri.edu
- Devika ChoudhurySenior Process Engineer, ASM AmericaAdresse e-mail validée de asm.com
- Javier B GiorgiUniversity of OttawaAdresse e-mail validée de uottawa.ca
- Nicholas BedfordUniversity of New South WalesAdresse e-mail validée de unsw.edu.au
- Paul F NealeyUniversity of ChicagoAdresse e-mail validée de uchicago.edu
- David M TiedeSenior Chemist, Argonne National LaboratoryAdresse e-mail validée de anl.gov
- Aaron W PetersNorthwestern UniversityAdresse e-mail validée de u.northwestern.edu